特許
J-GLOBAL ID：201503027360235520
インプリント方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-254508
公開番号（公開出願番号）：特開2014-100855
特許番号：特許第5687679号
出願日： 2012年11月20日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 凹部および凸部を有するモールドを準備する工程と,
前記モールドの材料と化学反応しない,モールド非反応材料の層を前記凹部内に形成し、前記凸部上に形成しない工程と,
熱硬化性または紫外線硬化性の樹脂材料の層が形成された基材に,前記モールドを押し付ける工程と,
前記モールドを押し付けた状態で,前記樹脂材料の層を硬化させて,前記モールド非反応材料の層と結合させる工程と,
前記基材から前記モールドを離間し,前記基材上に前記硬化された樹脂材料の層と前記モールド非反応材料の層を残す工程と,
を具備するインプリント方法。
IPC (2件)：
B29C 59/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
B29C 59/02 ZNM Z
, H01L 21/30 502 D
