特許

J-GLOBAL ID：201503028603307628

荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における収差測定法

発明者： 吉田 高穂
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-159518
公開番号（公開出願番号）：特開2015-032384
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：

【課題】本発明の目的は、既存の収差測定法に比べて収差情報の抽出が容易であり、測定精度の高い収差測定を行うことが可能な荷電粒子線装置及び収差測定法を提供することにある。【解決手段】本発明の荷電粒子線装置は、荷電粒子源から放出された荷電粒子線を収束して、前記収束された荷電粒子線を試料上で走査させる電子光学系と、前記試料から透過あるいは散乱した荷電粒子線を検出する検出系と、前記電子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記検出系からの信号から前記試料の画像を形成する制御装置と、を備える。前記制御装置は、前記試料に対して複数の検出角度で取得した複数の画像を各々フーリエ変換することにより複数の像を作成し、前記複数の像を用いて前記複数の検出角度の各々に対する収差情報を求める。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

荷電粒子源から放出された荷電粒子線を収束して、前記収束された荷電粒子線を試料上で走査させる電子光学系と、 前記試料から透過あるいは散乱した荷電粒子線を検出する検出系と、 前記電子光学系の収差を補正する収差補正器と、 前記検出系からの信号から前記試料の画像を形成する制御装置と、 を備え、 前記制御装置は、前記試料に対して複数の検出角度で取得した複数の画像を各々フーリエ変換することにより複数の像を作成し、前記複数の像を用いて前記複数の検出角度の各々に対する収差情報を求めることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (5件)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/09

FI (5件)：

H01J37/153 A ,  H01J37/28 C ,  H01J37/244 ,  H01J37/147 A ,  H01J37/09 A

Fターム (11件)：

5C033BB01 ,  5C033BB10 ,  5C033EE08 ,  5C033HH02 ,  5C033HH03 ,  5C033JJ02 ,  5C033NN03 ,  5C033NP06 ,  5C033SS07 ,  5C033SS10 ,  5C033UU10