特許

J-GLOBAL ID：201503028964872052

太陽電池素子の製造方法

発明者： 福地 健次
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-180149
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050279
出願日： 2013年08月30日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：

【課題】 信頼性を維持しつつ太陽電池特性の優れた太陽電池素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 第1壁部、第2壁部、前記第1壁部と前記第2壁部との間を接続する第3壁部、およびエッチング液吸込部を備えている基板処理装置を準備する処理装置準備工程と、前記第1壁部と前記第2壁部との間に太陽電池基板の一端部を配置して、前記太陽電池基板の2つ主面のうち一方主面の前記一端部を前記第1壁部に対して対面させるとともに、前記第1壁部における所定位置に位置させて、前記太陽電池基板の前記一端部を前記第3壁部に対して対面させる基板配置工程と、前記第1壁部から前記太陽電池基板の前記一端部にエッチング液を供給して、前記一端部における表層をエッチングした後、前記太陽電池基板に残留している前記エッチング液を前記第1壁部および前記第3壁部の少なくとも一方を介して回収するエッチング処理工程と、を有する製造方法とする。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

太陽電池基板を準備する基板準備工程と、 第1壁部、該第1壁部に対して間隔を空けて対面する第2壁部、前記第1壁部と前記第2壁部との間を接続する第3壁部、および前記エッチング液を回収するエッチング液吸込部を備えている基板処理装置を1以上準備する処理装置準備工程と、 前記基板処理装置の前記第1壁部と前記第2壁部との間に前記太陽電池基板の一端部を配置して、前記太陽電池基板の2つ主面のうち一方主面の前記一端部を前記第1壁部に対して間隔を空けて対面させるとともに、前記第1壁部における所定位置に位置させて、前記太陽電池基板の前記一端部の側面を前記第3壁部に対して間隔を空けて対面させる基板配置工程と、 前記基板処理装置の前記第1壁部から前記太陽電池基板の前記一方主面の前記一端部にエッチング液を供給して、前記一方主面の前記一端部における表層をエッチングした後、前記太陽電池基板に残留している前記エッチング液を前記第1壁部および前記第3壁部の少なくとも一方を介して回収するエッチング処理工程と、 を有する太陽電池素子の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/06 ,  H01L 31/04

FI (2件)：

H01L31/04 A ,  H01L31/04 F

Fターム (7件)：

5F151AA03 ,  5F151CB21 ,  5F151CB27 ,  5F151FA06 ,  5F151FA15 ,  5F151GA04 ,  5F151HA01