特許

J-GLOBAL ID：201503029010568979

熱式空気流量センサ

発明者： 土井 良介 ,  半沢 恵二 ,  徳安 昇
出願人/特許権者： 日立オートモティブシステムズ株式会社
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-146284
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010023
特許番号：特許第5648021号
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 半導体基板を加工して設けられるダイアフラムと、前記ダイアフラム上に設けられる発 熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の上流側と下流側にそれぞれ設けられる側温抵抗体と、を有 する流量検出素子と、 前記流量検出素子を、シート接着剤を介して接着保持する支持部材と、を備え、 前記支持部材は、前記ダイアフラムの裏面側に設けられる空洞部に一方が開口する連通 孔を有しており、 前記シート接着剤は、換気孔を有しており、 前記換気孔は、前記空洞部と前記連通孔の一方の開口とを連通するように、前記支持部 材の連通孔の開口領域に対応するシート接着剤の領域に設けられていることを特徴とする 熱式流量センサ。

IPC (3件)：

G01F 1/684 ( 200 6.01) ,  G01F 1/692 ( 200 6.01) ,  G01P 5/12 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01F 1/68 101 A ,  G01F 1/68 104 A ,  G01P 5/12 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 熱式流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-189443   出願人：三菱電機株式会社
• 特許第4265351号