特許

J-GLOBAL ID：201503029522206491

研磨材再生方法

発明者： 永井 佑樹 ,  前澤 明弘 ,  高橋 篤
出願人/特許権者： コニカミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013053468
公開番号（公開出願番号）：WO2013-122123
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：

本発明の課題は、使用済み研磨材から、効率的な方法で研磨材を回収し、その後、簡易な方法で高純度の再生研磨材を得ることができる研磨材再生方法を提供することである。 本発明の研磨材再生方法は、使用済み研磨材スラリーから、研磨材を再生する研磨材再生方法であって、該研磨材が、ダイアモンド、窒化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナ、アルミナジルコニア、酸化ジルコニウム及び酸化セリウムから選ばれる少なくとも一種であり、研磨機から排出される研磨材スラリーを回収するスラリー回収工程A、回収した研磨材スラリーに対し、無機塩としてアルカリ土類金属塩を添加して研磨材を凝集させ、該研磨材を母液より分離濃縮する分離濃縮工程B、該分離濃縮した研磨材を回収する研磨材回収工程C及び該濃縮した研磨材に対し濾過処理を施す第2濃縮工程Dを経て研磨材を再生することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

使用済みの研磨材スラリーから、研磨材を再生する研磨材再生方法であって、該研磨材が、下記研磨材群から選ばれる少なくとも一種であり、かつ下記工程A〜Dを経て研磨材を再生することを特徴とする研磨材再生方法。 工程A:研磨機から排出される研磨材スラリーを回収するスラリー回収工程A 工程B:該回収した研磨材スラリーに対し、無機塩としてアルカリ土類金属元素を含む金属塩を添加して研磨材を凝集させ、該研磨材を母液より分離して一次濃縮する分離濃縮工程B 工程C:該分離して一次濃縮した研磨材を回収する研磨材回収工程C 工程D:該回収した一次濃縮した研磨材に対し濾過処理を施して二次濃縮を行う第2濃縮工程D 研磨材群:ダイアモンド、窒化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナ、アルミナジルコニア、酸化ジルコニウム及び酸化セリウム

IPC (2件)：

B24B 57/02 ,  H01L 21/304

FI (2件)：

B24B57/02 ,  H01L21/304 622E

Fターム (8件)：

3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  5F057AA43 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA08 ,  5F057EA09 ,  5F057FA44