透明導電性酸化亜鉛薄膜

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清原義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-169983
公開番号（公開出願番号）：特開2015-038847
出願日： 2013年08月19日
公開日（公表日）： 2015年02月26日
要約：

【課題】耐湿熱性及び表面特性に優れるとともに、光吸収率が低く光透過率の波長依存性が低減された膜厚50nm以下の透明導電性酸化亜鉛薄膜を提供する。【解決手段】酸化亜鉛に、Ga及び/又はAlからなる第1元素と、In、Sn、Si、Bi、Se、Ce、Cu、Mn、Er及びEuからなる群から選択される少なくとも1つからなる第2元素が添加された、以下の(1)〜(3)の特性を持つ膜厚が50nm以下の透明導電性酸化亜鉛薄膜とする。(1)60°C、相対湿度95%の条件下で500時間の環境試験を行ったとき、環境試験前の比抵抗に対する環境試験後の比抵抗の相対変化率が15%以下(2)結晶子サイズLとa軸格子定数Laとの関係がL≧100×La(3)表面の算術平均粗さRaが0.2nm<Ra<1nm【選択図】図4

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛に、Ga及び/又はAlからなる第1元素と、In、Sn、Si、Bi、Se、Ce、Cu、Mn、Er及びEuからなる群から選択される少なくとも1つからなる第2元素が添加された、以下の(1)〜(3)の特性を持つ膜厚が50nm以下の透明導電性酸化亜鉛薄膜。 (1)60°C、相対湿度95%の条件下で500時間の環境試験を行ったとき、環境試験前の比抵抗に対する環境試験後の比抵抗の相対変化率が15%以下 (2)結晶子サイズLとa軸格子定数Laとの関係がL≧100×La (3)表面の算術平均粗さRaが0.2nm<Ra<1nm

IPC (3件)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , C04B 35/453

FI (3件)：

H01B5/14 A , C23C14/08 C , C04B35/00 P

Fターム (24件)：

4G030AA11 , 4G030AA14 , 4G030AA25 , 4G030AA31 , 4G030AA32 , 4G030AA34 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA39 , 4G030AA43 , 4G030BA02 , 4G030BA15 , 4G030CA01 , 4G030CA08 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA49 , 4K029BC09 , 4K029CA03 , 4K029DD05 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC04 , 5G307FC09

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