特許

J-GLOBAL ID：201503029677489350

非接触型保持機構

発明者： 川瀬 亮祐
出願人/特許権者： NECディスプレイソリューションズ株式会社
代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-244020
公開番号（公開出願番号）：特開2015-103701
出願日： 2013年11月26日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：

【課題】たわみを生じさせずに被保持部材を保持する、非接触型保持機構を提供する。【解決手段】本発明の非接触型保持機構1は、被保持部材31を吸着する吸着面20を有し、該吸着面20と被保持部材31との間に気体を流すことで被保持部材31を非接触に保持する。非接触型保持機構1は、被保持部材31と対向する第1の面6を有する第1のテーブル2と、被保持部材31と対向する第2の面8を有する第2のテーブル3と、を有する。第1のテーブル2は、第1の面6が第2の面8とともに吸着面20を形成するように第2のテーブル3と組み合わされ、該吸着面20には、気体が噴出される、環状の噴出口19が形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被保持部材を吸着する吸着面を有し、該吸着面と被保持部材との間に気体を流すことで前記被保持部材を非接触に保持する非接触型保持機構において、 前記被保持部材と対向する第1の面を有する第1のテーブルと、 前記被保持部材と対向する第2の面を有する第2のテーブルと、を有し、 前記第1のテーブルは、前記第1の面が前記第2の面とともに前記吸着面を形成するように前記第2のテーブルと組み合わされ、該吸着面には、前記気体が噴出される、環状の噴出口が形成されることを特徴とする、非接触型保持機構。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (10件)：

5F131AA02 ,  5F131BA60 ,  5F131CA07 ,  5F131EA10 ,  5F131EA13 ,  5F131EA24 ,  5F131EB43 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB85