特許
J-GLOBAL ID:201503029707957388

校正装置および校正方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 宏明
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012074096
公開番号(公開出願番号):WO2013-042742
出願日: 2012年09月20日
公開日(公表日): 2013年03月28日
要約:
複数の校正項目を1回の操作で行うことができる校正装置および校正方法を提供する。測定プローブ3が挿入部41aに挿入された状態で測定プローブ3の先端部から所定の距離L離れた位置に配置され、測定対象波長範囲で反射率が照射面内で一様であるとともに、反射特性が安定した標準反射板43と、を備え、標準反射板43が所定の距離Lを用いて定められる空間コヒーレンス長Lscよりも標準反射板43を構成する材料の散乱平均自由行程が大きい。
請求項(抜粋):
少なくとも測定対象波長の光を含む照明光を測定対象物に照射する照明ファイバと、前記測定対象物で反射および/または散乱した前記照明光の戻り光を受光する複数の検出ファイバとを有する測定プローブと、前記複数の検出ファイバがそれぞれ受光した前記戻り光を検出する複数の検出部とを備えた光学測定装置が前記測定対象物からの前記戻り光を補正する際に使用する複数の校正データを取得する校正装置であって、 前記測定プローブが挿入される挿入部と、 前記測定プローブが前記挿入部に挿入された状態で前記測定プローブの先端から所定の距離離れた位置に配置され、前記照明光の照射面内で前記測定対象波長範囲における光の反射率が一様である標準反射板と、 を備え、 前記標準反射板を構成する材料の散乱平均自由行程は、前記所定の距離における空間コヒーレンス長よりも大きいことを特徴とする校正装置。
IPC (1件):
G01N 21/27
FI (2件):
G01N21/27 F ,  G01N21/27 B
Fターム (14件):
2G059AA02 ,  2G059BB12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK03 ,  2G059MM10 ,  2G059MM14 ,  2G059PP04 ,  4C161FF43

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