特許

J-GLOBAL ID：201503030603011600

反射防止膜及びそれを有する光学素子

発明者： 石松 理絵 ,  奥野 丈晴
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-131512
公開番号（公開出願番号）：特開2015-004919
出願日： 2013年06月24日
公開日（公表日）： 2015年01月08日
要約：

【課題】広い波長域において優れた反射防止特性を有する反射防止膜及びそれを有する光学素子を提供する。【解決手段】透明な基板の光透過面に設けられる反射防止膜100であって、反射防止膜100は基板1側から空気層側へ順に、複数の層を積層した中間層2、400nm以下のピッチの微細構造部を複数形成した微細凹凸構造体3を有し、微細凹凸構造体3は、膜厚が200nm以上350nm以下で、屈折率が空気層側から前記基板1に向かう方向に1.0から連続的に増加する領域を有し、中間層2の複数の層は、基板側から空気層側へ順に、第1層21から第5層25を有し、複数の層の屈折率を波長550nmでの値、光学膜厚を(波長550nmでの屈折率)×(厚さ)とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明な基板の光透過面に設けられる反射防止膜であって、前記反射防止膜は前記基板側から空気層側へ順に、複数の層を積層した中間層、400nm以下のピッチの微細構造部を複数形成した微細凹凸構造体を有し、 該微細凹凸構造体は、膜厚が200nm以上350nm以下で、屈折率が空気層側から前記基板に向かう方向に1.0から連続的に増加する領域を有し、 前記中間層の複数の層は、前記基板側から空気層側へ順に、第1層、第2層、第3層、第4層、第5層を有し、前記複数の層の屈折率を波長550nmでの値、光学膜厚を(波長550nmでの屈折率)×(厚さ)とするとき、 前記第1層の屈折率が1.61〜1.71、光学膜厚が10〜220nm、 前記第2層の屈折率が1.98〜2.40、光学膜厚が15〜65nm、 前記第3層の屈折率が1.61〜1.71、光学膜厚が60〜140nm、 前記第4層の屈折率が1.98〜2.40、光学膜厚が15〜65nm、 前記第5層の屈折率が1.42〜1.54、光学膜厚が10〜140nm であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (3件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 ,  B32B 3/30

FI (3件)：

G02B1/10 A ,  B32B7/02 103 ,  B32B3/30

Fターム (31件)：

2K009AA01 ,  2K009AA02 ,  2K009AA10 ,  2K009CC03 ,  2K009CC12 ,  2K009EE00 ,  4F100AA12B ,  4F100AA17B ,  4F100AA19B ,  4F100AA20B ,  4F100AA27B ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA11B ,  4F100BA11C ,  4F100BA26B ,  4F100BA26C ,  4F100DD07C ,  4F100GB41 ,  4F100GB51 ,  4F100JM02B ,  4F100JN01A ,  4F100JN06B ,  4F100JN06C ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C