特許

J-GLOBAL ID：201503031155867960

固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法

発明者： 山口 鉄也
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-239328
公開番号（公開出願番号）：特開2015-099862
出願日： 2013年11月19日
公開日（公表日）： 2015年05月28日
要約：

【課題】受光感度を向上させることができる固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の一つの実施形態によれば、固体撮像装置が提供される。固体撮像装置は、撮像領域と、遮光性を有する素子分離部とを備える。撮像領域は、半導体層に、複数の光電変換素子が行列状に2次元配列される。素子分離部は、各前記光電変換素子の受光領域を囲むように埋設され、当該受光領域を囲む開口領域の中心位置が、対応する前記受光領域の中心位置よりも、前記撮像領域の中心側に位置する。【選択図】図3B

請求項（抜粋）：

半導体層に、複数の光電変換素子が行列状に2次元配列される撮像領域と、 各前記光電変換素子の受光領域を囲むように埋設され、当該受光領域を囲む開口領域の中心位置が、対応する前記受光領域の中心位置よりも、前記撮像領域の中心側に位置する遮光性を有する素子分離部と を備えることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/369

FI (3件)：

H01L27/14 A ,  H01L27/14 D ,  H04N5/335 690

Fターム (26件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA06 ,  4M118CA03 ,  4M118FA25 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118GA02 ,  4M118GB02 ,  4M118GB06 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB19 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CX35 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024GX02 ,  5C024GX24 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ34