特許

J-GLOBAL ID：201503032457032520

環状化合物、その製造方法、感放射線性組成物及びレジストパターン形成方法

発明者： 越後 雅敏 ,  山川 雅子
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012079529
公開番号（公開出願番号）：WO2013-073583
出願日： 2012年11月14日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

本発明の環状化合物は、分子量500〜5000の、式(1)で示される環状化合物である。

請求項（抜粋）：

分子量500〜5000の、式(1)で示される環状化合物。

IPC (6件)：

C07C 43/215 ,  C07C 41/16 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  C07C 43/23

FI (6件)：

C07C43/215 ,  C07C41/16 ,  G03F7/004 531 ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R ,  C07C43/23 D

Fターム (27件)：

2H125AC01 ,  2H125AE03P ,  2H125AF17P ,  2H125AF35P ,  2H125AN26P ,  2H125AN39P ,  2H125AN63P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC18 ,  2H125CD02P ,  2H125CD08P ,  2H125CD31 ,  2H125CD34 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76 ,  4H006AC28 ,  4H006AC43 ,  4H006FC22 ,  4H006FC52 ,  4H006FE13 ,  4H006GN03 ,  4H006GP03