特許

J-GLOBAL ID：201503033094682914

硬化性組成物、塗布用組成物、硬化膜、レーザ加工方法、および多層配線構造体の製造方法

発明者： 伊藤 昌宏 ,  鶴岡 薫 ,  桑名 保宏 ,  永井 雄介
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (4件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  柳井 則子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012079704
公開番号（公開出願番号）：WO2013-073638
出願日： 2012年11月15日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

誘電率が低く、吸水性が低く、かつレーザ加工できる硬化膜が得られる硬化性組成物、該硬化膜のレーザ加工方法、および多層配線構造体の製造方法の提供。 架橋性官能基を有する含フッ素ポリアリーレンプレポリマー(A)を含む硬化性組成物、該組成物を硬化させて得た硬化膜にレーザ光を照射して該硬化膜の一部を除去するレーザ加工方法、該加工方法により該硬化膜からなる絶縁膜にビア穴を形成する工程を有する多層配線構造体の製造方法。

請求項（抜粋）：

レーザ光の照射により一部が除去される硬化膜を得るための硬化性組成物であって、 架橋性官能基を有する含フッ素ポリアリーレンプレポリマー(A)を含むことを特徴とする硬化性組成物。

IPC (5件)：

C08F 290/06 ,  C08L 71/10 ,  B23K 26/36 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/382

FI (5件)：

C08F290/06 ,  C08L71/10 ,  B23K26/36 ,  B23K26/00 N ,  B23K26/38 330

Fターム (32件)：

4E068AF02 ,  4E068AH00 ,  4E068CA02 ,  4E068DA10 ,  4E068DB10 ,  4J002FD096 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB091 ,  4J127BB161 ,  4J127BC061 ,  4J127BD231 ,  4J127BE041 ,  4J127BE04Y ,  4J127BF231 ,  4J127BF23Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG05X ,  4J127BG05Y ,  4J127BG071 ,  4J127BG07X ,  4J127BG07Y ,  4J127BG081 ,  4J127BG08X ,  4J127BG08Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG12X ,  4J127BG12Y ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127FA16