特許

J-GLOBAL ID：201503033322969269

物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法

発明者： 高橋 一浩 ,  澤田 和明 ,  大山 泰生
出願人/特許権者： 国立大学法人豊橋技術科学大学
代理人 (3件)： 井川 浩文 ,  森岡 正往 ,  特許業務法人SANSUI国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012075182
公開番号（公開出願番号）：WO2013-047799
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：

微小な表面応力の変化を検出することができ、小型化・アレイ化を可能にする物理・化学センサ、物理・化学現象センシングデバイスおよびこれら製造方法を提供する。センサは、フォトダイオード1の受光面1aの表面に中空部3を形成しつつ、対向して設けられた膜部2を備え、中空部は周囲から気密的または水密的に遮断され、膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とともにファブリペロー共振器を形成する。センシングデバイスは、センサのほかに中空部を有しない参照センサを設ける。製造方法は、フォトダイオードの受光面に犠牲層を生成する工程と、犠牲層の表面を除く領域に保護膜を積層する工程と、エッチング予定領域を除く膜部構成領域に膜部を生成する工程と、犠牲層をエッチングする工程と、エッチング予定領域を被覆する工程とを含む。

請求項（抜粋）：

受光素子の受光面の表面に、中空部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた膜部を備え、 前記膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とでファブリペロー共振器を形成するとともに、少なくとも外側表面に物質固定能を有している膜部であることを特徴とする物理・化学センサ。

IPC (1件)：

G01N 21/27

FI (1件)：

G01N21/27 Z

Fターム (19件)：

2G059AA05 ,  2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059BB13 ,  2G059CC04 ,  2G059CC05 ,  2G059CC12 ,  2G059CC16 ,  2G059CC17 ,  2G059DD13 ,  2G059EE09 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03