微細輪郭形状測定装置および微細輪郭形状測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須田篤 , 楠修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-243881
公開番号（公開出願番号）：特開2015-102450
出願日： 2013年11月26日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：

【課題】レンズで集光したレーザー光を測定プローブ光として用い、これを測定対象物の輪郭形状に沿って走査した際に、測定対象物を通過した測定プローブ光の光量情報をもとに輪郭形状を測定する技術において、測定対象物の測定プローブ光に対する光軸方向位置、および姿勢を制御して測定対象物の輪郭形状の測定精度を向上するとともに、輪郭形状面の高さ分布情報も一括して取得する微細輪郭形状測定装置および方法を提供する。【解決手段】測定プローブ光と同軸となるよう白色干渉光学系を構成し、測定反射光と参照反射光とによって生成された干渉縞情報をもとに、輪郭面の高さ分布情報、高さ位置情報及び姿勢角情報を得る。同軸構成によって、測定プローブ光は干渉縞のコントラスト最大位置でスポット径が最適化され、干渉縞から得られる情報をもとに測定プローブ光と輪郭形状との高さ位置・姿勢を一定に保ち、輪郭形状の測定精度を向上する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

白色光源(非単一波長光源)と、前記白色光源から照射される白色光をコリメートして白色光束を生成する白色光コリメート部と、前記白色光束を集光するコンデンサーレンズと、前記コンデンサーレンズで集光した白色光束を、参照白色光束と測定白色光束とに分割するビームスプリッタAと、前記コンデンサーレンズの前方焦点面に後方焦点面が来るようにそれぞれ配置した参照白色光束用対物レンズおよび測定白色光束用対物レンズと、前記参照白色光束用対物レンズの前方焦点距離位置に配置した参照ミラーと、前記参照ミラーで反射された参照白色光束と、前記測定白色光束用対物レンズの前方焦点面にその輪郭が来るよう配置された測定対象物面で反射された測定白色光束とを結像する結像レンズと、前記結像レンズにより結像された干渉縞を観察する撮像素子と、前記白色光源の波長スペクトラムから外れた波長を有するレーザー光源と、前記レーザー光源から照射されるレーザー光をコリメートしてレーザー光束を生成するレーザーコリメート部と、前記レーザー光束の光軸と前記白色光束の光軸とを同一光軸とするビームスプリッタBと、前記レーザー光束が前記測定白色光束用対物レンズにより測定プローブ光となった後に前記測定対象物面を通過した前記測定プローブ光、および前記測定白色光束のうち、前記測定白色光束のみをカットする光学フィルターAと、前記測定対象物面を通過した前記測定プローブ光を集光する通過光集光レンズと、前記通過光集光レンズによって集光された前記測定対象物面を通過した前記測定プローブ光の光強度を測定する通過光受光素子と、前記撮像素子に向かう前記参照ミラーで反射された参照白色光束、前記測定対象物面で反射された測定白色光束、および前記測定対象物面で反射された前記測定プローブ光のうち、前記測定対象物面で反射された前記測定プローブ光のみをカットする光学フィルターBと、前記測定対象物をXYZ3軸方向、RθZ3方向、あるいはXYZ3軸方向に加えてXYZ3軸まわり回転方向に位置決め可能な走査ステージ部と、を有することを特徴とする微細輪郭形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , B23Q 17/24

FI (3件)：

G01B11/24 D , G01B9/02 , B23Q17/24 Z

Fターム (27件)：

2F064AA09 , 2F064EE01 , 2F064FF07 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG42 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065CC10 , 2F065DD04 , 2F065DD06 , 2F065FF16 , 2F065FF52 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065PP04 , 2F065QQ31 , 3C029AA21 , 3C029AA40

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