特許
J-GLOBAL ID：201503033656659449
加速度の計測を提供する方法、装置及びシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-558997
公開番号（公開出願番号）：特表2015-511317
出願日： 2013年06月20日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：
加速度を計測する技術及び機構を提供する。一実施形態において、微小電気機械加速度計は、磁石と、質量体と、前記質量体の吊り下げのための第1の支持ビーム部及び第2の支持ビーム部とを含む。第1の支持ビーム部及び第2の支持ビーム部によって伝導される電流と前記磁石とに基づいた、第1の支持ビーム部及び第2の支持ビーム部の共振周波数特性が、前記質量体の加速度を指し示す。他の一実施形態において、加速度計は更に、各々が前記質量体に結合され且つ更にそれぞれのアンカー部に結合された第1のワイヤ部及び第2のワイヤ部を含む。これらのアンカー部は、第1のワイヤ部及び第2のワイヤ部を用いて信号を交換する。第1のワイヤ部及び第2のワイヤ部は、前記質量体のバイアシングを提供する。
請求項（抜粋）：
微小電気機械加速度計を有する装置であって、前記微小電気機械加速度計は、
質量体と、
磁場を生成する第1の磁石と、
第1の次元に沿って前記磁場を横切る時変信号を各々が伝導する第1の支持ビーム部及び第2の支持ビーム部であり、前記時変信号に対する共振周波数が前記磁場に基づき、前記質量体が当該第1の支持ビーム部と当該第2の支持ビームとで吊られている、第1の支持ビーム部及び第2の支持ビーム部と、
前記質量体に結合され且つ第1のアンカーに柔軟に結合された第1のワイヤ部と、
前記質量体に結合され且つ第2のアンカーに柔軟に結合された第2のワイヤ部と
を含み、
前記第1のアンカー及び前記第2のアンカーは、前記第1のワイヤ部及び前記第2のワイヤ部を用いて第1の信号を交換し、前記第1の信号及び前記磁場に基づいて、前記第1のワイヤ部及び前記第2のワイヤ部が、前記第1の次元に垂直な第2の次元に沿って前記質量体に力を与える、
装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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