特許

J-GLOBAL ID：201503034055155008

磁性流体を用いたシール装置

発明者： 本多 茂樹
出願人/特許権者： イーグル工業株式会社
代理人 (8件)： 重信 和男 ,  櫻井 義宏 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  溝渕 良一 ,  小椋 正幸 ,  秋庭 英樹 ,  堅田 多恵子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012076394
公開番号（公開出願番号）：WO2013-069403
出願日： 2012年10月12日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：

【課題】ミストおよびパーティクルの発生を防止し、真空側の真空の質の低下及び圧力変動を防止する。 【解決手段】ハウジング内の軸方向の中央部に設けられた磁性流体シールと、前記磁性流体シールの両側に設けられたころがり軸受とを備え、 前記両側のころがり軸受の内、真空側に配置されたころがり軸受の潤滑部には磁性流体が充填されるとともに外輪の真空側に磁石が装着され、 前記磁石の前記ころがり軸受の外輪と反対側には、回転軸に遊嵌する磁性材料製のリング状のヨークが装着されることを特徴とする磁性流体を用いたシール装置としている。 【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ハウジングと回転軸との間に設けられて真空側と大気側とを密封するシール装置であって、

IPC (4件)：

F16C 33/82 ,  F16C 33/76 ,  F16C 33/66 ,  F16J 15/43

FI (4件)：

F16C33/82 ,  F16C33/76 Z ,  F16C33/66 B ,  F16J15/40 A

Fターム (18件)：

3J016AA01 ,  3J016BB12 ,  3J016BB15 ,  3J016BB22 ,  3J016BB25 ,  3J042AA08 ,  3J042BA04 ,  3J042DA09 ,  3J701AA02 ,  3J701AA42 ,  3J701AA43 ,  3J701AA54 ,  3J701AA62 ,  3J701BA73 ,  3J701CA33 ,  3J701EA01 ,  3J701EA68 ,  3J701FA60