特許

J-GLOBAL ID：201503034623032293

バンプ位置の導出方法およびバンプ形成位置の補正方法、バンプボンダー並びにバンプの外観検査装置

発明者： 植田 崇資 ,  山川 明浩 ,  福永 茂樹 ,  山根 茂樹
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012058830
公開番号（公開出願番号）：WO2012-165030
出願日： 2012年04月02日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：

【課題】ウエハ上のねらいの位置に正確にバンプを形成するように位置補正をすることをできる、バンプ位置の導出方法およびバンプ形成位置の補正方法、バンプボンダー並びにバンプの外観検査装置を提供する。【解決手段】バンプボンダーのバンプ形成位置の補正方法は、ウエハ上に、バンプボンダーのキャピラリでバンプを形成する、バンプ形成工程と、バンプ形成工程により形成されたバンプにおける、キャピラリ形状が転写されたチャンファ痕部を認識する、チャンファ痕部認識工程と、チャンファ痕部認識工程で取得した画像から、実際のバンプ形成位置を導出する、バンプ形成位置導出工程と、実際のバンプ形成位置と、予め設定したバンプ形成位置とを比較して、次に実行するバンプ形成位置を補正する位置補正工程と、を有する。

請求項（抜粋）：

バンプボンダーによりウエハ上に形成されたバンプ位置の導出方法であって、 バンプボンダーのキャピラリ形状が転写されたバンプのチャンファ痕部を、平面視したときの画像からバンプの位置及び/又はバンプのセンターを求めるバンプ位置の導出方法。

IPC (1件)：

H01L 21/60

FI (3件)：

H01L21/92 604Z ,  H01L21/92 604J ,  H01L21/92 604K