特許

J-GLOBAL ID：201503035436285567

放射線検出パネルの製造装置及び放射線検出パネルの製造方法

発明者： 千代間 仁 ,  吉田 篤也 ,  松山 渉 ,  山本 豊雄 ,  會田 博之 ,  榛葉 勇一
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝電子管デバイス株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012081674
公開番号（公開出願番号）：WO2013-089015
出願日： 2012年12月06日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：

放射線検出パネルの製造方法は、蒸発源より鉛直上方側で、光電変換基板(21)の蒸着面が蒸発源に露出しかつ鉛直軸に対して斜めとなる状態に光電変換基板を配置する。蒸発源により、シンチレータ材を蒸発させ鉛直上方へ向けて放射し、上記蒸着面上にシンチレータ材を蒸着させ蛍光体膜を形成する。

請求項（抜粋）：

シンチレータ材を蒸発させ鉛直上方へ向けて放射させる蒸発源と、 前記蒸発源より鉛直上方側に位置し、光電変換基板の蒸着面が前記蒸発源に露出しかつ鉛直軸に対して斜めとなる状態に前記光電変換基板を保持する保持機構と、を備える放射線検出パネルの製造装置。

IPC (4件)：

G01T 1/20 ,  G21K 4/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/24

FI (7件)：

G01T1/20 B ,  G21K4/00 B ,  G01T1/20 E ,  G01T1/20 G ,  C23C14/06 G ,  C23C14/24 J ,  C23C14/24 A

Fターム (30件)：

2G083AA04 ,  2G083BB01 ,  2G083CC03 ,  2G083DD14 ,  2G083DD16 ,  2G083EE02 ,  2G188AA03 ,  2G188AA25 ,  2G188BB02 ,  2G188CC17 ,  2G188CC19 ,  2G188CC22 ,  2G188DD05 ,  2G188DD13 ,  2G188DD30 ,  2G188DD42 ,  2G188DD44 ,  2G188DD47 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA41 ,  4K029BB08 ,  4K029CA01 ,  4K029CA15 ,  4K029DB05 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18 ,  4K029EA03 ,  4K029EA08 ,  4K029JA02