特許

J-GLOBAL ID：201503037488143003

活性酸素量測定装置、活性酸素表面処理装置、活性酸素量測定方法および活性酸素表面処理方法

発明者： 野田 和俊 ,  岩森 暁 ,  木下 忍 ,  岩崎 達行 ,  吉野 潔 ,  松本 裕之
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  学校法人東海大学 ,  岩崎電気株式会社
代理人 (2件)： 岡部 讓 ,  吉澤 弘司
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012005594
公開番号（公開出願番号）：WO2013-035304
出願日： 2012年09月04日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：

活性酸素による表面処理において、活性酸素表面作用量を正確に測定する。本発明の活性酸素量測定装置は、被処理対象物の近傍に配置される第1の振動子を有し、活性酸素作用量に基づく第1の振動子における質量変化を第1の周波数変化量として出力する第1のセンサ、被処理対象物の近傍に配置される第2の振動子を有し、温度、湿度又は圧力の変化に起因する外乱に基づく第2の振動子における質量変化を第2の周波数変化量として出力する第2のセンサ、及び第1の周波数変化量と第2の周波数変化量の差分を演算し、差分を実際の活性酸素作用量による周波数変化量として特定するように構成された測定部を備える。

請求項（抜粋）：

活性酸素を被処理対象物の表面に供給して表面処理を行う活性酸素表面処理装置において使用される活性酸素量測定装置であって、 前記被処理対象物の近傍に配置される第1の振動子を有し、活性酸素作用量に基づく該第1の振動子における質量変化を第1の周波数変化量として出力する第1のセンサ、 前記被処理対象物の近傍に配置される第2の振動子を有し、温度、湿度又は圧力の変化に起因する外乱に基づく該第2の振動子における質量変化を第2の周波数変化量として出力する第2のセンサ、及び 前記第1の周波数変化量と前記第2の周波数変化量の差分を演算し、該差分を実際の活性酸素作用量による周波数変化量として特定するように構成された測定部 を備えた活性酸素量測定装置。

IPC (3件)：

G01N 5/02 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12

FI (3件)：

G01N5/02 A ,  B01J19/08 E ,  B01J19/12 C

Fターム (19件)：

4C058AA12 ,  4C058AA21 ,  4C058AA25 ,  4C058BB07 ,  4C058DD01 ,  4C058DD02 ,  4C058EE26 ,  4C058JJ16 ,  4C058JJ28 ,  4G075AA30 ,  4G075AA61 ,  4G075AA65 ,  4G075BA06 ,  4G075BB10 ,  4G075CA32 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB31 ,  4G075EB41