特許

J-GLOBAL ID：201503037919378232

酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサ

発明者： 山本 哲也 ,  宋 華平 ,  牧野 久雄 ,  野本 淳一
出願人/特許権者： 公立大学法人高知工科大学
代理人 (1件)： 清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-145377
公開番号（公開出願番号）：特開2015-062007
出願日： 2014年07月15日
公開日（公表日）： 2015年04月02日
要約：

【課題】増幅回路を使用しなくても高いセンサ感度を有する酸化亜鉛多結晶薄膜を用いたガスセンサを提供する。【解決手段】基板と、該基板上に形成された透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜からなるガス検知層と、前記ガス検知層に接触して設けられた電極と、を備えるガスセンサであって、前記透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜は、酸化亜鉛にGa及び/又はAlからなる元素が添加されてなるとともに、キャリア密度3.0×1020/cm3以下、膜厚50nm以下の多結晶薄膜であることを特徴とするガスセンサとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 該基板上に形成された透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜からなるガス検知層と、 前記ガス検知層に接触して設けられた電極と、を備えるガスセンサであって、 前記透明導電性酸化亜鉛多結晶薄膜は、酸化亜鉛にGa及び/又はAlからなる元素が添加されてなるとともに、キャリア密度3.0×1020/cm3以下、膜厚50nm以下の多結晶薄膜であることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 C

Fターム (5件)：

2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE48