特許

J-GLOBAL ID：201503038461496075

漏洩検知装置

発明者： 若松 隆一 ,  大日向 陽一 ,  日比野 直樹 ,  岡田 真知
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-144007
公開番号（公開出願番号）：特開2015-017846
出願日： 2013年07月09日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
要約：

【課題】真空チャンバと試験体とを単一の真空ポンプで真空引きするときに両者間に差圧が生じないようにできる簡単な構成の漏洩検知装置を提供する。【解決手段】真空ポンプP1が接続されるテストチャンバ1と、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管11に開閉弁V1を介して接続される質量分析管61とを備える。テストチャンバ内に設置される試験体に着脱自在に直結される切換弁2を更に備え、切換弁は、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路22と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路24とを少なくとも有する。そして、テストチャンバ内に試験体を設置し、切換弁を切り換えて試験体内をテストチャンバと共に真空引きし、試験体にトレーサガスを導入し、質量分析管によりトレーサガスの当該試験体からの漏洩を検知する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空ポンプが接続されるテストチャンバと、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管に開閉弁を介して接続される質量分析管とを備え、テストチャンバ内に試験体を設置し、試験体にトレーサガスを導入し、質量分析管によりトレーサガスの当該試験体からの漏洩を検知する漏洩検知装置において、 テストチャンバ内に設置される試験体に着脱自在に直結される切換弁を更に備え、切換弁は、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路とを少なくとも有することを特徴とする漏洩検知装置。

IPC (1件)：

G01M 3/20

FI (1件)：

G01M3/20 B

Fターム (7件)：

2G067AA02 ,  2G067AA11 ,  2G067AA37 ,  2G067AA44 ,  2G067BB01 ,  2G067CC13 ,  2G067DD17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ガス充填検査装置及びガス漏れ検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-158907   出願人：三菱電機株式会社
• 漏洩検知システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-264066   出願人：株式会社アルバック