特許

J-GLOBAL ID：201503039148984472

可変容量装置

発明者： 小中 義宏 ,  川手 俊矢
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012066500
公開番号（公開出願番号）：WO2013-069333
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：

可変容量装置(1)は、固定基板(2A)と、可動部(3A)と、駆動電極(5A,5B)と、RF容量電極(6)と、絶縁膜(12A)と、を備える。可動部(3A)は、固定基板(2A)に対向していて、固定基板(2A)との間隔を変えることができる。駆動電極(5A,5B)は、可動部(3A)に対向して、固定基板(2A)に形成されている。RF容量電極(6)は、可動部(3A)に対向するとともに駆動電極(5A,5B)から離間して固定基板(2A)に形成されている。絶縁膜(12A)は、可動部(3A)と駆動電極(5A,5B)との間に形成されている。駆動電極(5A,5B)に印加される電圧の高さと可動部(3A)に印加される電圧の高さとは、周期的に切り替わり、RF容量電極(6)に印加される電圧の高さと可動部(3A)に印加される電圧の高さとは常に一致する。

請求項（抜粋）：

固定基板と、 前記固定基板に対向していて、前記固定基板との間隔を変えることができる可動電極を備える可動梁と、 前記可動電極に対向して前記固定基板に形成された少なくとも一つの固定基板側駆動電極と、 前記可動電極に対向するとともに前記固定基板側駆動電極から離間して前記固定基板に形成された固定基板側容量電極と、 前記可動電極と前記固定基板側駆動電極との間に形成された誘電体膜と、 前記固定基板側駆動電極に印加される電圧の高さと、前記可動電極に印加される電圧の高さと、が周期的に切り替わり、前記固定基板側容量電極に印加される電圧の高さと、前記可動電極に印加される電圧の高さと、が常に一致するように構成された回路部と、 を備える可変容量装置。

IPC (2件)：

H01G 5/16 ,  B81B 3/00

FI (2件)：

H01G5/16 ,  B81B3/00

Fターム (14件)：

3C081AA02 ,  3C081AA13 ,  3C081BA22 ,  3C081BA32 ,  3C081BA33 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA05 ,  3C081CA32 ,  3C081DA06 ,  3C081DA08 ,  3C081DA27 ,  3C081EA24