特許
J-GLOBAL ID：201503039532666836
電子線干渉装置および電子線干渉法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012000724
公開番号（公開出願番号）：WO2013-114464
出願日： 2012年02月03日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：
電子線が干渉可能な範囲、距離には限界があり、この可干渉距離の範囲内でしか、電子線干渉は実現されない。そこで、干渉顕微鏡法により再生、観察される位相分布は、干渉に用いた2つの波のそれぞれの位相分布の差分であることに着目し、参照波と参照波と隣接する観察領域との干渉像から、干渉領域幅ごとに連続的に干渉像を記録し、それら干渉像を個別に再生して得られた位相分布の積算を求めることによって、所定の観察領域と所定の参照波との位相分布の差分像を得る。この作業を各々の位相分布に実施し、得られた位相分布像を所定の順に配列することにより、可干渉距離を越えた広範囲の干渉像を得ることを可能とする。
請求項（抜粋）：
電子線の光源と、
前記光源から放出される電子線を試料に照射するための照射光学系と、
前記試料の像を結像する対物レンズを有する結像レンズ系と、
前記電子線の光軸上に配置された電子線バイプリズムと、
前記試料における複数の位相分布像を記録する画像記録装置と、
前記試料の位相分布像を演算する画像演算処理装置と、を有し、
前記試料は前記電子線バイプリズムにより参照波領域を透過する電子線と干渉した電子線が透過する第1の観察領域と、前記電子線バイプリズムにより前記第1の観察領域を透過する電子線と干渉した電子線が透過する第2の観察領域と、を有し、
前記画像記録装置は、前記参照波領域を透過した電子線と前記第1の観察領域を透過した電子線とに基づき第1の干渉像を記録し、かつ、前記第1の観察領域を透過した電子線と前記第2の観察領域を透過した電子線とに基づき第2の干渉像を記録し、
前記画像演算処理装置は、前記画像記録装置に記録された前記第2の干渉像と前記画像記録装置に記録された前記第1の干渉像とに基づき、前記参照波領域を透過した電子線と前記第2の観察領域を透過した電子線との位相分布像を演算する
ことを特徴とする電子線干渉装置。
IPC (3件)：
H01J 37/295
, H01J 37/26
, H01J 37/22
H01J37/295
, H01J37/26
, H01J37/22 501Z
, H01J37/22 501A
