特許
J-GLOBAL ID:201503040213232902
顕微鏡システム、及び、試料の屈折率測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-143905
公開番号(公開出願番号):特開2015-018045
出願日: 2013年07月09日
公開日(公表日): 2015年01月29日
要約:
【課題】屈折率を測定するための技術を提供する。【解決手段】顕微鏡システム100は、レーザ1からの光の波面を変調する波面変調器2と、波面変調器2で波面が変調された光を試料Sに照射する対物レンズ9と、対物レンズ9と試料Sとの間の媒質の屈折率と試料Sの屈折率との差に起因する球面収差を補正する補正環10と、レーザ1からの光の波長毎に、補正環10による球面収差の補正量に基づいて対物レンズ9と対物レンズ9から出射された光の集光位置との間の媒質の平均屈折率を算出する屈折率算出手段と、屈折率算出手段で算出された波長毎の平均屈折率に基づいて算出される色収差を補正するように波面変調器2を制御する制御手段と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光源からの光の波面を変調する波面変調手段と、
前記波面変調手段で波面が変調された光を試料に照射する対物レンズと、
前記対物レンズと前記試料との間の媒質の屈折率と前記試料の屈折率との差に起因する球面収差を補正する球面収差補正手段と、
前記光源からの光の波長毎に、前記球面収差補正手段による球面収差の補正量に基づいて、前記対物レンズと前記対物レンズから出射された光の集光位置との間の媒質の平均屈折率を算出する屈折率算出手段と、
前記屈折率算出手段で算出された波長毎の平均屈折率に基づいて算出される色収差を補正するように、前記波面変調手段を制御する制御手段と、を備える
ことを特徴とする顕微鏡システム。
IPC (3件):
G02B 21/06
, G01N 21/41
, G01N 21/64
FI (3件):
G02B21/06
, G01N21/41 Z
, G01N21/64 E
Fターム (38件):
2G043AA03
, 2G043BA16
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043GA04
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043JA02
, 2G043LA03
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059EE02
, 2G059EE07
, 2G059FF02
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB01
, 2H052AB14
, 2H052AB24
, 2H052AB26
, 2H052AC04
, 2H052AC14
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD06
, 2H052AD13
, 2H052AF02
引用特許:
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