特許

J-GLOBAL ID：201503041023189489

露光装置及びデバイス露光方法

発明者： 橋本 隆行 ,  伊藤 正裕
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-225238
公開番号（公開出願番号）：特開2015-088587
出願日： 2013年10月30日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：

【課題】1個のデバイスを複数エリアに分けて露光する際、重ね合わせ部によりコントラストのよい繋ぎずれ量計測用マークマークを露光することを可能とする露光装置を提供すること。【解決手段】ステージをスキャンして露光する露光装置(スキャナ)のステージとスキャン方向に同期駆動して露光範囲を制御するマスキングブレードを有する。マスキングブレードは原版の繋ぎずれ量計測用マークの配置位置とステージのスキャン方向に対して直交する方向と同じ位置に開口部を有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ステージをスキャンして露光する露光装置(スキャナ)のステージとスキャン方向に同期駆動して露光範囲を制御するマスキングブレードを有し 前記マスキングブレードは原版の繋ぎずれ量計測用マークの配置位置とステージのスキャン方向に対して直交する方向と同じ位置に開口部を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22

FI (3件)：

H01L21/30 514A ,  H01L21/30 502C ,  G03F7/22 Z

Fターム (7件)：

2H097AA11 ,  2H097AB09 ,  2H097KA12 ,  2H097LA12 ,  5F146BA05 ,  5F146CB05 ,  5F146EB02