特許
J-GLOBAL ID：201503041331141020

質量分光計の真空インターフェース方法および真空インターフェース装置

発明者：
マカロフ アレクサンダー アレクセーエヴィチ

マカロフ アレクサンダー アレクセーエヴィチ について

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ロットマン ローター

ロットマン ローター について


出願人/特許権者：
サーモ フィッシャー サイエンティフィック (ブレーメン) ゲーエムベーハー

サーモ フィッシャー サイエンティフィック (ブレーメン) ゲーエムベーハー について


代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-546497
公開番号（公開出願番号）：特表2015-502022
出願日： 2012年12月12日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：
スキマー開口部(134)と、下流のイオン抽出光学系(150)を有するスキマーコーン(133)であることが好ましいスキマー装置を備える質量分光計の真空インターフェースを動作させる方法が提供される。膨張プラズマは、スキマー開口部を通してスキミングされる。スキミングされたプラズマ(126)の残部を抽出光学系の方へ膨張させつつ、分離された部分が抽出光学系に達することを防ぎ、阻止または妨害する手段を講じることにより、スキマー装置に隣接するスキミングされたプラズマの一部分(142)は、残部からスキマー装置内で分離される。これにより、スキマー装置表面(135)上の堆積物から遊離されたイオンを除去することが可能になり、そのようなイオンを区別し、メモリー効果が低減される。プラズマの残部は、抽出光学の方へ膨張することができる。そのため、境界層とプラズマの残部との間の相互作用および混合を、低減または最小化することができるので、スキマー装置の下流を通って抽出光学系に入る従前に堆積したイオンの数が減少する。
請求項（抜粋）：
スキマー開口部と、下流のイオン抽出光学系とを有するスキマー装置を備える質量分光計の真空インターフェースを動作させる方法であって、 前記スキマー開口部を通して膨張プラズマをスキミングすることと、 前記スキマー装置に隣接する前記スキミングされたプラズマの一部分を、前記スキミングされたプラズマの残部から前記スキマー装置内で分離すること とを含み、 前記残部を前記イオン抽出光学系の方へ膨張させつつ、前記分離された部分が前記イオン抽出光学系に達することを防ぐ手段を講じることにより前記分離が行われる、質量分光計の真空インターフェースを動作させる方法。
IPC (2件)：
H01J 49/06 ,  G01N 27/62
FI (2件)：
H01J49/06 ,  G01N27/62 G
Fターム (10件)：
2G041CA01 ,  2G041DA04 ,  2G041DA05 ,  2G041DA09 ,  2G041DA14 ,  2G041DA18 ,  2G041DA19 ,  2G041GA22 ,  2G041GA29 ,  5C038FF01
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 飛行時間型質量分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-082635   出願人：横河アナリティカルシステムズ株式会社
  • プラズマ質量分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-208177   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
審査官引用 (2件)
  • 飛行時間型質量分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-082635   出願人：横河アナリティカルシステムズ株式会社
  • プラズマ質量分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-208177   出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク

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