特許

J-GLOBAL ID：201503041532912432

気体制御装置

発明者： 神谷 岳 ,  平田 篤彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012081453
公開番号（公開出願番号）：WO2013-084909
出願日： 2012年12月05日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：

気体制御装置(100)は、第2の圧電ポンプ(102)が接合された上部筐体(10)と第1の圧電ポンプ(101)が接合された下部筐体(20)とダイヤフラム(30)とで構成されている。上部筐体(10)には、気体が流出する流出口(19)が設けられている。下部筐体(20)には、気体が流入する流入口(28、29)と開口(126)と第1の弁座(152)と第2の弁座(132)と第3の弁座(142)とが設けられている。ダイヤフラム(30)は、上部筐体(10)及び下部筐体(20)に挟持され、第1の弁座(152)、第2の弁座(132)、及び第3の弁座(142)に当接して上部筐体(10)、下部筐体(20)に固定されている。ダイヤフラム(30)は上部筐体(10)及び下部筐体(20)内を分割して各弁室を上部筐体(10)及び下部筐体(20)と共に構成する。

請求項（抜粋）：

流入口と流出口とを有する筺体を備え、 前記筺体の内部に、 前記流入口と前記流出口との間に設けられ、前記流出口から前記流入口への気体の流れを遮断する第1の逆止弁及び第2の逆止弁と、 前記流入口と接続された吸入孔と、前記第2の逆止弁と接続された吐出孔と、を有する第1のポンプと、 前記第1の逆止弁と接続された吸入孔と、前記流出口と接続された吐出孔と、を有する第2のポンプと、 前記第1のポンプの吐出孔と前記第2のポンプの吸入孔との間に設けられている切替弁と、を備える気体制御装置であって、 前記切替弁は、第1のダイヤフラムと、前記第1のダイヤフラムによって仕切られた第1及び第2の弁室と、前記第1の弁室側に設けられている第1の弁座とを備え、 前記第1のダイヤフラムは、前記第1の弁座と当接する領域を有し、 前記第1の弁座は、前記第2のポンプの吸入孔と接続される開口を有し、 前記第1の弁室は、前記第1のポンプの吐出孔と接続され、 前記切替弁は、前記第1のダイヤフラムにおける両主面に加わる力の差によって、前記第1のポンプ吐出孔と、前記第2のポンプの吸入孔との接続と遮断とを切り替える、気体制御装置。

IPC (1件)：

F04B 41/06

FI (1件)：

F04B41/06

Fターム (6件)：

3H076AA37 ,  3H076BB31 ,  3H076BB38 ,  3H076CC43 ,  3H076CC44 ,  3H076CC85