特許
J-GLOBAL ID:201503041644496148

物理量測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  渡辺 敏章
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-129123
公開番号(公開出願番号):特開2015-004556
出願日: 2013年06月20日
公開日(公表日): 2015年01月08日
要約:
【課題】被計測気体に関する物理量を測定する測定部に対して、被計測気体以外の熱の影響を受けることを低減することができる物理量測定装置を提供する。【解決手段】被計測気体に関する第1および第2の物理量を測定する第1および2の測定部と、第1および前記第2の測定部に接続され、第1および2の測定部からの信号を処理する信号処理部とが、高分子樹脂によりモールド成形されたチップパッケージ40と、チップパッケージ40を固定して収容するとともに、第1の測定部に主通路70から取り込まれた被計測気体を流す第1および第2のバイパス通路12、14とが形成されたケーシング11とを備え、チップパッケージ40には、第1および第2の測定部との間に信号処理部44が配置されており、ケーシング11には、主通路70からの被計測気体を第1の測定部と第2の測定部との間を流すことにより、信号処理部44を冷却する冷却部が形成されている。【選択図】図9
請求項(抜粋):
主通路から取り込まれた被計測気体に関する第1の物理量を測定する第1の測定部と、主通路から取り込まれ被計測気体に関する第2の物理量を測定する第2の測定部と、前記第1の測定部および前記第2の測定部に接続され、少なくとも該第1および2の測定部からの信号を処理する信号処理部とが、高分子樹脂によりモールド成形されたチップパッケージと、 前記チップパッケージを固定して収容するとともに、前記第1の測定部に主通路から取り込まれた被計測気体を流す第1のバイパス通路と、前記第2の測定部に主通路から取り込まれた被計測気体を流す第2のバイパス通路とが形成されたケーシングと、を備え、 前記チップパッケージには、前記第1の測定部と前記第2の測定部との間に前記信号処理部が配置されており、 前記ケーシングには、前記主通路からの被計測気体を前記第1の測定部と前記第2の測定部との間を流すことにより、前記信号処理部を冷却する冷却部が形成されていることを特徴とする物理量測定装置。
IPC (1件):
G01F 1/684
FI (1件):
G01F1/68 101A
Fターム (3件):
2F035AA02 ,  2F035EA03 ,  2F035EA08

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