感光性樹脂組成物及びドライフィルムレジスト

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：佐々木一也 , 成瀬勝夫 , 中村智廣 , 佐野英一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012073999
公開番号（公開出願番号）：WO2013-047305
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：

アルカリ性水溶液で現像でき、高感度で絶縁性、耐熱性等の諸特性とともに、誘電特性の優れた硬化膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びドライフィルムを提供する。 (A)成分:ジビニル化合物(a)20〜99モル%及びモノビニル化合物(b)80〜1モル%を共重合して得られる共重合体であって、ジビニル化合物(a)に由来するビニル基を側鎖に有する溶剤可溶性多官能ビニル共重合体、(B)成分:ポリオール化合物と多価カルボン酸類とを反応させて得られるカルボキシル基含有共重合体(b)を含むアルカリ可溶性樹脂成分と、(C)成分:光開始剤を含み、(A)成分〜(C)成分の合計に対する(A)成分が1〜98.9wt%、(B)成分が98.9〜1wt%、(C)成分が0.1〜10wt%であるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)成分:ジビニル化合物(a)20〜99モル%及びモノビニル化合物(b)80〜1モル%を共重合して得られる共重合体であって、ジビニル化合物(a)に由来する下記式(a1)で表される未反応のビニル基を含有する構造単位の含有量が10〜90モル%である溶剤可溶性多官能ビニル共重合体、

IPC (7件)：

G03F 7/038 , G03F 7/004 , G03F 7/027 , H05K 3/46 , H05K 1/03 , C08F 212/34 , C08F 291/06

FI (7件)：

G03F7/038 501 , G03F7/004 512 , G03F7/027 515 , H05K3/46 T , H05K1/03 610H , C08F212/34 , C08F291/06

Fターム (49件)：

2H125AC11 , 2H125AC12 , 2H125AC31 , 2H125AC33 , 2H125AC36 , 2H125AC54 , 2H125AD02 , 2H125AD14 , 2H125AE15P , 2H125AM66P , 2H125AN59P , 2H125BA22P , 2H125CA13 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD06P , 2H125CD08P , 2H125CD34 , 4J026AA18 , 4J026BA28 , 4J026DA02 , 4J026DA14 , 4J026DB06 , 4J026DB15 , 4J026DB32 , 4J026FA05 , 4J026GA07 , 4J100AB02R , 4J100AB04Q , 4J100AB16P , 4J100AG04S , 4J100AL08S , 4J100BA02S , 4J100BC43S , 4J100CA06 , 4J100JA38 , 5E346AA43 , 5E346CC13 , 5E346DD02 , 5E346EE31 , 5E346FF03 , 5E346FF04 , 5E346GG15 , 5E346GG17 , 5E346GG28 , 5E346HH01 , 5E346HH18 , 5E346HH31

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