特許

J-GLOBAL ID：201503044024119807

研摩材スラリー及び研摩方法

発明者： 佐藤 龍一 ,  丸山 陽兵 ,  小池 淳
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人田中・岡崎アンドアソシエイツ
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012076446
公開番号（公開出願番号）：WO2013-054883
出願日： 2012年10月12日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

本発明は、炭化ケイ素や窒化ガリウム等の高硬度材料も、高い研摩速度で研摩可能な研摩材スラリーを提供する。本発明は、酸化マンガン粒子とマンガン酸イオンとを含有したスラリーからなり、モース硬度で硬度8以上の高硬度材料を研摩するための研摩材スラリーである。本発明は、スラリー中の酸化マンガン粒子が1.0質量%以上であることが好ましく、酸化マンガンが二酸化マンガンであることが好ましく、マンガン酸イオンが過マンガン酸イオンであることが好ましい。本発明の研摩材スラリーによれば、炭化ケイ素や窒化ガリウム等の高硬度の難削材も、高速に平滑研摩が可能となる。

請求項（抜粋）：

酸化マンガン粒子とマンガン酸イオンとを含有したスラリーからなり、スラリー中のマンガン酸イオンが0.1質量%以上であり、モース硬度で硬度8以上の高硬度材料を研摩するための研摩材スラリー。

IPC (4件)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  C09G 1/02 ,  B24B 37/00

FI (6件)：

C09K3/14 550D ,  H01L21/304 622D ,  C09G1/02 ,  H01L21/304 622W ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550Z

Fターム (20件)：

3C058AA07 ,  3C058CA05 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F057AA03 ,  5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057BA11 ,  5F057BB09 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA06 ,  5F057EA21 ,  5F057EA31 ,  5F057FA44