特許
J-GLOBAL ID：201503045900812139
質量流量計
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-255778
公開番号（公開出願番号）：特開2015-114191
出願日： 2013年12月11日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：
【課題】小型・軽量な質量流量計で、質量流量に加えて静圧の計測が可能な質量流量計を提供する。【解決手段】内部を流体が流通する管路内の遠心力ないし向心力が作用する部分に遠心力ないし向心力検出用歪ゲージと、遠心力ないし向心力が作用しない部分に静圧・温度補償用の歪ゲージを貼り付け、その出力差から質量流量を計測する質量流量計において、計測された質量流量から流量による静圧変化を算出し、算出した流量による静圧変化と前記歪ゲージの出力を元に管路内の静圧を計測することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部を流体が流通する管路内の遠心力ないし向心力が作用する位置に遠心力ないし向心力検出用歪ゲージと、遠心力ないし向心力が作用しない位置に静圧・温度補償用の歪ゲージを貼り付け、その出力差から質量流量を計測する質量流量計において、
計測された質量流量から流量による静圧変化を算出し、算出した流量による静圧変化と前記歪ゲージの出力を元に管路内の静圧を計測することを特徴とする質量流量計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
2F030CA04
, 2F035AB08
, 2F035JA03
