特許
J-GLOBAL ID：201503048621735255
成膜用マスク及び成膜方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
佐藤 隆久
, 飯島 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-205842
公開番号（公開出願番号）：特開2015-067893
出願日： 2013年09月30日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：
【課題】成膜時にホルダ係止部で保持された部分の近傍において発生する色ムラを抑制する。【解決手段】一方の主面が成膜面11である成膜基板10の外周の寸法に適合した寸法の開口を有するリング状の形状のマスク主部20を有し、リング状の形状のマスク主部20の内側の側面が、成膜基板10の側面の内の少なくとも成膜基板10の成膜面11に連なる面(12b)を被覆し、成膜時において成膜面11に影を落とさない位置となるように、成膜基板の外周に取り付けて用いられる構成の成膜用マスクとする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
一方の主面が成膜面である成膜基板の外周の寸法に適合した寸法の開口を有するリング状の形状のマスク主部を有し、
リング状の形状の前記マスク主部の内側の側面が、前記成膜基板の側面の内の少なくとも前記成膜基板の前記成膜面に連なる面を被覆し、成膜時において前記成膜面に影を落とさない位置となるように、前記成膜基板の外周に取り付けて用いられる
成膜用マスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA46
, 4K029BC07
, 4K029CA02
, 4K029CA06
, 4K029DB03
, 4K029DB18
, 4K029DC03
, 4K029DC35
, 4K029HA03
, 4K029JA02
, 4K029JA05
