特許

J-GLOBAL ID：201503050424471267

振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体

発明者： 石井 昌宏
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-170170
公開番号（公開出願番号）：特開2015-041785
出願日： 2013年08月20日
公開日（公表日）： 2015年03月02日
要約：

【課題】小型化が図りやすく、生産性や信頼性を向上させることが可能な振動片の提供。【解決手段】振動片1は、基部10と、基部10から並列に延出している複数の振動腕11a,11b,11cと、を備え、複数の振動腕11a,11b,11cは、駆動される駆動振動腕としての振動腕11a,11cと、駆動されない非駆動振動腕としての振動腕11bと、を含み、振動腕11a,11cに第1電極12a1,12c1と、第1電極12a1,12c1から基部10へ引き出された第1引き出し配線15と、が設けられ、第1電極12a1,12c1の上方に振動腕11a,11cを駆動する圧電体13が設けられ、圧電体の上方に第2電極12a2,12c2と、第2電極12a2,12c2から基部10へ引き出された第2引き出し配線16と、が設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、 前記基部から並列に延出している複数の振動腕と、を備え、 複数の前記振動腕は、駆動される駆動振動腕と、駆動されない非駆動振動腕と、を含み、 前記駆動振動腕に第1電極と、前記第1電極から基部へ引き出された第1引き出し配線と、が設けられ、 前記第1電極の上方に前記駆動振動腕を駆動する圧電膜が設けられ、 前記圧電膜の上方に第2電極と、前記第2電極から基部へ引き出された第2引き出し配線と、が設けられていることを特徴とする振動片。

IPC (2件)：

H03H 9/24 ,  H03B 5/32

FI (2件)：

H03H9/24 B ,  H03B5/32 H

Fターム (23件)：

5J079AA03 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J079HA28 ,  5J079HA29 ,  5J108BB01 ,  5J108BB08 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE17 ,  5J108FF07 ,  5J108FF11 ,  5J108FF13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16