特許

J-GLOBAL ID：201503050757969351

周期表第13族金属窒化物結晶

発明者： 三川 豊 ,  浪田 秀郎 ,  井上 京由
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-138045
公開番号（公開出願番号）：特開2015-010023
出願日： 2013年07月01日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
要約：

【課題】本発明は、結晶性が良好であり、結晶に歪みが発生していない周期表第13族金属窒化物結晶を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、c軸に対する赤外光の偏光角度を0〜90°の間で変化させ測定を行うフーリエ変換赤外分光法により得られる赤外吸収スペクトルにおいて、3050〜3300cm-1の範囲内に少なくとも4つの吸収ピークを有し、4つの吸収ピークは、式(1)で表される偏光特性係数Aを各々有し、4つの吸収ピークを波数が小さい方から順に、第1吸収ピーク〜第4吸収ピークとすると、前記第1吸収ピークの偏光特性係数Aは-0.10〜0.00あり、前記第2吸収ピークの偏光特性係数Aは0.00〜0.15であり、前記第3吸収ピークの偏光特性係数Aは0.00〜0.15であり、前記第4吸収ピークの偏光特性係数Aは-0.25〜0.00であることを特徴とする周期表第13族金属窒化物結晶に関する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

c軸に対する赤外光の偏光角度を0〜90°の間で変化させ測定を行うフーリエ変換赤外分光法(FT-IR)により得られる赤外吸収スペクトルにおいて、3050〜3300cm-1の範囲内に少なくとも4つの吸収ピークを有し、 前記4つの吸収ピークは、式(1)で表される偏光特性係数Aを各々有し、 前記4つの吸収ピークを波数が小さい方から順に、第1吸収ピーク〜第4吸収ピークとすると、前記第1吸収ピークの偏光特性係数Aは-0.10〜0.00あり、前記第2吸収ピークの偏光特性係数Aは0.00〜0.15であり、前記第3吸収ピークの偏光特性係数Aは0.00〜0.15であり、前記第4吸収ピークの偏光特性係数Aは-0.25〜0.00であることを特徴とする周期表第13族金属窒化物結晶。

IPC (1件)：

C30B 29/38

FI (1件)：

C30B29/38 D

Fターム (9件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB04 ,  4G077BE15 ,  4G077CB04 ,  4G077FE11 ,  4G077HA12 ,  4G077KA01 ,  4G077KA03