円筒形ターゲットの製造方法及びその製造に用いるホットプレス用モールド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-248183
公開番号（公開出願番号）：特開2015-105414
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
要約：

【課題】焼結後の冷却時における円筒形ターゲットの割れやクラック等の発生を防止することができる円筒形ターゲットの製造方法及びその製造に用いるホットプレス用モールドを提供する。【解決手段】ホットプレス用モールド100は、スリーブ1及び押圧部材5をカーボン又はセラミックスにより形成するとともに、芯棒3をカーボン又はセラミックスからなる上部芯棒31と、熱膨張係数が原料粉末7aと同等以上の金属からなる下部芯棒32とにより形成しておき、リング状の空間部6内に投入した原料粉末7aを、押圧部材5によってスリーブ1と下部芯棒31との間で押圧した状態で焼結させて、円筒形ターゲット7bを製造する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

垂直方向に沿う筒状に形成されたスリーブと、該スリーブ内部の中央に配置された芯棒と、該芯棒に係合して前記スリーブと前記芯棒とにより形成されるリング状の空間部に挿入可能に設けられた押圧部材とを備えるホットプレス用モールドを用い、原料粉末を前記空間部内に投入して前記押圧部材で垂直方向に押圧した状態で焼結させることにより円筒形ターゲットを製造する円筒形ターゲットの製造方法であって、前記スリーブ及び前記押圧部材をカーボン又はセラミックスにより形成するとともに、前記芯棒をカーボン又はセラミックスからなる上部芯棒と、熱膨張係数が前記原料粉末と同等以上の金属からなる下部芯棒とにより形成しておき、前記空間部内に投入した前記原料粉末を、前記押圧部材によって前記スリーブと前記下部芯棒との間で押圧した状態で焼結させて、前記円筒形ターゲットを製造することを特徴とする円筒形ターゲットの製造方法。

IPC (1件)：

C23C 14/34

FI (1件)：

C23C14/34 B

Fターム (9件)：

4K029BA21 , 4K029BA48 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC05 , 4K029DC09 , 4K029DC13 , 4K029DC39 , 4K029DC45

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭51-022707
特開昭52-063102
特開昭56-119705

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審査官引用 (4件)

特開昭51-022707
特開昭52-063102
特開昭56-119705

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