特許
J-GLOBAL ID：201503051352875674
一成分極低温微細固体粒子連続生成装置、および、その一成分極低温微細固体粒子連続生成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-125074
公開番号（公開出願番号）：特開2015-002221
出願日： 2013年06月13日
公開日（公表日）： 2015年01月05日
要約：
【課題】寒剤として極低温ヘリウムを用いることなく、簡単な構成で、安価に、一成分で極低温の微細固体粒子を連続生成可能な一成分極低温微細固体粒子連続生成装置を提供する。【解決手段】一成分極低温微細固体粒子連続生成装置は、極低温の過冷却液体と、その過冷却液体と同一の元素で構成される極低温気体の高速流とを混合して一成分混相流を生成する混合部10と、混合部10の下流に設けられ、その混合部10で生成された一成分混相流から極低温微細固体粒子を含む噴霧流を生成するラバルノズル部11とを有する。ラバルノズル部11は導入部11aと、導入部11aの開口断面積よりも小さい開口断面積の縮径部11bと、縮径部11bよりも大きい開口断面積で且つ下流側に拡開形状の噴射部11cとを有する。噴射部11cにて一成分混相流を音速を超えた状態で断熱膨張させて、一成分極低温微細固体粒子を含む噴霧流を連続して生成する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
極低温の過冷却液体と、該過冷却液体と同一の元素で構成される極低温気体とにより、一成分極低温微細固体粒子を連続して生成する一成分極低温微細固体粒子連続生成装置であって、
前記過冷却液体と、前記極低温気体の高速流とを混合して一成分混相流を生成する混合部と、
前記混合部の下流に設けられ、該混合部で生成された前記一成分混相流から極低温微細固体粒子を含む噴霧流を生成するラバルノズル部と、を有し、
前記ラバルノズル部は、前記混合部で生成された前記一成分混相流を導入する導入部と、
前記導入部の下流側に設けられ該導入部の開口断面積よりも小さい開口断面積の縮径部と、
前記縮径部の下流側に設けられ該縮径部の開口断面積よりも大きい開口断面積に形成され、且つ、下流側に向かって拡開した形状の噴射部と、を有し、
前記噴射部にて、前記一成分混相流を音速を超えた状態で断熱膨張させて、一成分極低温微細固体粒子を含む噴霧流を連続して生成することを特徴とする
一成分極低温微細固体粒子連続生成装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304
, H01L 21/027
H01L21/304 643Z
, H01L21/304 643C
, H01L21/30 572A
5F146MA11
, 5F157AA64
, 5F157AB33
, 5F157BB37
, 5F157BB73
, 5F157BD26
, 5F157BD42
, 5F157BG62
, 5F157BH18
, 5F157CF34
