特許

J-GLOBAL ID：201503055604892270

感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置

発明者： 霜山 達也
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-239999
公開番号（公開出願番号）：特開2015-099320
出願日： 2013年11月20日
公開日（公表日）： 2015年05月28日
要約：

【課題】本発明は、良好な感度を維持したまま、ハーフトーン露光部の露光量マージンが十分広い感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、および、液晶表示装置を提供する。【解決手段】(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(B)光酸発生剤、(C)365nmに吸収を有するベンゾフェノン系化合物、(D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、 (1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、 (2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (B)光酸発生剤、 (C)365nmに吸収を有するベンゾフェノン系化合物、 (D)溶剤 を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  H01L 21/027 ,  G02F 1/133

FI (9件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/40 501 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H01L21/30 502R ,  G02F1/1333 505

Fターム (71件)：

2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA11 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  2H125AE06P ,  2H125AE08P ,  2H125AE13P ,  2H125AE15P ,  2H125AE18P ,  2H125AE22P ,  2H125AF03P ,  2H125AF05P ,  2H125AF18P ,  2H125AF45P ,  2H125AF52P ,  2H125AH04 ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AH22 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AN21P ,  2H125AN23P ,  2H125AN24P ,  2H125AN25P ,  2H125AN29P ,  2H125AN31P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN43P ,  2H125AN65P ,  2H125AN73P ,  2H125AN82P ,  2H125AN88P ,  2H125AN89P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA11P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H190HB13 ,  2H190HC13 ,  2H190HD00 ,  2H196AA27 ,  2H196AA28 ,  2H196BA11 ,  2H196EA02 ,  2H196HA01 ,  2H196HA03 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107DD90 ,  3K107DD97 ,  3K107FF14 ,  3K107GG06 ,  3K107GG28