特許
J-GLOBAL ID：201503055681743792
スラストフォイル軸受、ラジアルフォイル軸受、及びこれらの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
城村 邦彦
, 熊野 剛
, 野口 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-256848
公開番号（公開出願番号）：特開2015-113928
出願日： 2013年12月12日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：
【課題】フォイル軸受の支持力の向上を図る。【解決手段】本発明に係るフォイル軸受(スラストフォイル軸受40)は、フォイルホルダ41と、周方向に並べて配された複数のフォイル42とを備える。各フォイル42が、スラスト軸受面S2を有する本体部42aと、本体部42aから外径側に延びる延在部42bとを有する。各フォイル42の本体部42aの回転方向先行側の端部42dが、隣接するフォイル42の本体部42aの上に重ねて配置される。複数のフォイル42の延在部42bを、フォイルホルダ41の同一平面上に固定する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
フォイルホルダと、前記フォイルホルダに取り付けられ、周方向に並べて配された複数のフォイルとを備えたスラストフォイル軸受であって、
各フォイルが、軸受面を有する本体部と、前記本体部から外径側に延びる延在部とを有し、各フォイルの本体部の回転方向先行側の端部が、隣接するフォイルの本体部の上に重ねて配置され、
前記複数のフォイルの延在部を、前記フォイルホルダの同一平面上に固定したスラストフォイル軸受。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
3J012AB20
, 3J012BB03
, 3J012CB03
, 3J012DB09
, 3J012EB07
, 3J012EB08
, 3J012EB09
出願人引用 (3件)
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特開昭55-166525
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動圧気体軸受
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-004574
出願人：株式会社島津製作所
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ウェハ外周部研磨装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-247724
出願人：スピードファム株式会社
審査官引用 (1件)
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