特許

J-GLOBAL ID：201503056727997448

形状測定装置、光走査装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム

発明者： 中島 康晴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 西 和哉 ,  川村 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-244788
公開番号（公開出願番号）：特開2015-102485
出願日： 2013年11月27日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：

【課題】構造光を、測定対象物に容易かつ正確に投影させることにより、測定対象物の三次元形状を精度よく測定する。【解決手段】第1の方向D1に沿って異なる光強度の分布を有する構造光を生成する光生成部20と、構造光を第1の方向D1とは異なる測定対象物2上の第2の方向D2に沿って走査する走査部40と、構造光が投影された測定対象物2を撮像する撮像部50と、撮像部50で得られた測定対象物2の像に応じた信号強度に基づいて、測定対象物2の形状を算出する演算部60と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物の三次元形状を測定する形状測定装置において、 第1の方向に沿って異なる強度の分布を有する構造光を生成する光生成部と、 前記構造光を前記第1の方向とは異なる前記測定対象物上の第2の方向に沿って走査する走査部と、 構造光が投影された前記測定対象物を撮像する撮像部と、 前記撮像部で得られた前記測定対象物の像に応じた信号強度に基づいて、前記測定対象物の形状を算出する演算部と、 を備える形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (32件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL11 ,  2F065LL12 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065NN12 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065UU01