特許

J-GLOBAL ID：201503058041781140

ガラス基板保持装置

発明者： 北村 圭市 ,  齊藤 隆義
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
代理人 (2件)： 矢野 寿一郎 ,  岩本 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-055684
公開番号（公開出願番号）：特開2015-117130
出願日： 2014年03月18日
公開日（公表日）： 2015年06月25日
要約：

【課題】一方の平面に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板を、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置であって、自重による撓み等を生じることもなく、高度な平面度を保ちつつガラス基板を保持することが可能なガラス基板保持装置を提供する。【解決手段】後面(一方の平面)に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板Wを、前記後面(一方の平面)側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置1であって、前記ガラス基板Wの前記後面(一方の平面)において、少なくとも、その上下端部および左右端部の一部に当接しつつ、前記ガラス基板Wを支持する保持部10を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一方の平面に対して成膜が施される矩形板状のガラス基板を、前記一方の平面側に傾倒させた姿勢に保持するガラス基板保持装置であって、 前記ガラス基板の前記一方の平面において、 少なくとも、その上下端部および左右端部の一部を支持する保持部を備える、 ことを特徴とするガラス基板保持装置。

IPC (4件)：

B65G 49/06 ,  H01L 21/683 ,  C23C 14/50 ,  G02F 1/13

FI (4件)：

B65G49/06 A ,  H01L21/68 N ,  C23C14/50 C ,  G02F1/13 101

Fターム (32件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131BA03 ,  5F131CA07 ,  5F131CA12 ,  5F131CA22 ,  5F131CA23 ,  5F131DA02 ,  5F131DA22 ,  5F131DA42 ,  5F131DA55 ,  5F131EA01 ,  5F131EA17 ,  5F131EB32 ,  5F131EB36 ,  5F131EB64 ,  5F131GA05 ,  5F131GA22 ,  5F131GA26 ,  5F131GA32 ,  5F131GA64 ,  5F131GA68