特許
J-GLOBAL ID：201503058372469014
水平搬送式表面処理装置における基板製品の搬入及び搬出手段
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-162025
公開番号（公開出願番号）：特開2015-030889
出願日： 2013年08月05日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：
【課題】 極めて薄いフレキシブルな基板製品でもスムーズ且つ的確に搬送できる水平搬送式表面処理装置の水平搬入手段と水平搬出手段を提供する。【解決手段】 水平搬入手段の上下の第一搬入丸ベルト12A,12Bと上下の第二搬入丸ベルト16A,16Bで薄い基板製品を処理槽外から搬入口2及び上下のシールローラ10A,10Bを通過した処理槽内のクランプ掴持位置までスムーズに水平搬送できるようにした。また、水平搬出手段の上下の第一搬出丸ベルト22A,22Bと上下の第二搬出丸ベルト26A,26Bで薄い基板製品をクランプ解放位置から上下のシールローラ20A,20B及び搬出口3を通過した処理槽外までスムーズに水平搬送できるようにした。更に水平搬入手段に、処理槽の搬入口2へ供給される薄い基板製品が所定の搬入通路を通過するようにした基板通過位置整列装置40を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面処理される平行な両側縁部をもつ薄い基板製品を処理槽の搬入口から処理槽内に水平に搬入する水平搬入手段と、多数のクランプが周回移動される対の水平搬送手段を前記基板製品の搬送通路の両側に配設し、処理槽内に搬入された前記基板製品の両側縁部を搬送通路の両側を移動する複数のクランプで掴持し、処理槽の処理液中を前記基板製品の板面が上下になる水平姿勢で一定の水平通過ラインを一方向に連続搬送し、このクランプ搬送行程中に前記基板製品を表面処理するクランプ式水平搬送装置と、処理槽内で表面処理された前記基板製品を処理槽の搬出口から処理槽外に水平に搬出する水平搬出手段を備えた水平搬送式表面処理装置において、
前記水平搬入手段を、前記処理槽の搬入口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬入口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬入されるようにした、搬入口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬入駆動ローラと、クランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中を搬入駆動ローラの位置からクランプ搬送行程の始部位置より搬送方向の先方位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第一搬入丸ベルトと、前記上下の搬入駆動ローラと、前記処理槽の搬入口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬入駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬入駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬入駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬入口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記処理槽の搬入口の外側近くの位置から搬入口を通過した搬入駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬入丸ベルトで構成し、
前記水平搬出手段を、前記処理槽の搬出口の内側近くの位置に対の上下のローラを搬出口の横幅方向に延ばして配設し、この上下のローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記基板製品が上下のローラ間をクランプ搬送と同じ水平通過ラインで水平に搬出されるようにした、搬出口から処理液の流出を防ぐ上下のシールローラとして機能する上下の搬出駆動ローラと、クランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の内側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の内側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで処理液中をクランプ搬送行程の終部位置より搬送方向の後方位置から搬出駆動ローラの位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬出する上下の第一搬出丸ベルトと、前記上下の搬出駆動ローラと、前記処理槽の搬出口の外側近くの位置に配設され、前記基板製品の水平通過ラインを間にした上下の定位置で回転自在に支持された対の上下の外側案内用ローラと、下の搬出駆動ローラと下の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の下の丸ベルト、上の搬出駆動ローラと上の外側案内用ローラの巾方向に間隔をおいた周方向の溝に嵌めて掛け渡された複数本の断面丸形状の上の丸ベルトによって構成され、前記搬出駆動ローラの回転駆動によってクランプ搬送と同じ送り速度で前記搬出口を通過して回転駆動され、基板製品を対応する上下の丸ベルトで挟んで前記搬出駆動ローラの位置から搬出口を通過した処理槽の外側位置まで一定の水平通過ラインを水平に搬送する上下の第二搬出丸ベルトで構成したことを特徴とする、水平搬送式表面処理装置の搬入及び搬出手段。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C25D17/06 E
, C25D17/06 H
, C25D17/00 G
