開口部の分布が非均一な研磨物品

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出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：渡邉一平 , 佐藤博幸 , 小池成 , 大賀眞司 , 百本宏之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-550540
公開番号（公開出願番号）：特表2015-503464
出願日： 2012年12月31日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：

非均一分布パターンに配置された複数のアパーチャを有する被覆研磨材であって:パターンは、螺旋または葉序であり、特にフォーゲル式によって説明されるパターンである、研磨物品。また、提供されるのは、螺旋または葉序パターンのエアフロー経路(オープンなチャンネルの形態等)を有するバックアップパッドである。バックアップパッドは、具体的には、非均一分布パターンを有する研磨物品と対応するように構成されてよい。あるいは、バックアップパッドは、穴が突き通った従来の被覆研磨材と共に、用いられ得る。アパーチャおよびバックアップパッドの非均一分布パターンを有する研磨物品は、研磨系として一緒に用いられてよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アパーチャパターンに配置された複数のアパーチャを有する被覆研磨材を含み、アパーチャパターンは、分布が非均一に調節されている、研磨物品。

IPC (2件)：

B24D 11/00 , B24D 3/00

FI (2件)：

B24D11/00 M , B24D3/00 310D

Fターム (9件)：

3C063AA02 , 3C063AA03 , 3C063AB02 , 3C063AB07 , 3C063BA22 , 3C063BG04 , 3C063BG08 , 3C063FF08 , 3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (9件)

スーパーサイズコーティングを有する研磨材物品及び製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-552778 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
吸塵用研磨具
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-112204 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
研磨パッド及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-138613 出願人：日本ミクロコーティング株式会社, 株式会社ルネサステクノロジ

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