特許

J-GLOBAL ID：201503060267006461

洗浄処理装置

発明者： 時山 博吏
出願人/特許権者： 日鉄住金エレクトロデバイス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-149289
公開番号（公開出願番号）：特開2015-020102
出願日： 2013年07月18日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
要約：

【課題】僅かな改造で洗浄能力を向上できると共に、従来の樹脂パイプを用いて排出できる安価な洗浄処理装置を提供する。【解決手段】洗浄槽15と、クッションタンク17と、ポンプ18と、熱交換器19と、クッションタンク17の内部には、第一〜第四室21、21a、21b、21cが連接する4室の第一、第二室間に第1の仕切り板と、第三、第四室間に第2の仕切り板と、第一、第二室と、第三、第四室のグループ間に第3の仕切り板と、第二室と第三室の間の下方に切り欠き部を有する洗浄処理装置10であって、洗浄槽15の廃液16を第一室に落とし込んだ後、底部から取り出し熱交換器19を通過させ第三室に落とし込み第三、第二、第一室、及び熱交換器中を循環させながら冷却する廃液冷却手段と、廃液16が第一室から第三室までに満されたときに第三室から第四室に流れ込ませて排出させる廃液排出手段を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薬液槽内で処理した被処理物を60°C以上100°C未満に加熱された純水中で洗浄するための洗浄槽と、該洗浄槽からオーバーフローして排出される廃液を落とし込むためのクッションタンクと、該クッションタンクから取り出される前記廃液を送り出すためのポンプと、該ポンプで送り出す前記廃液を通過させて該廃液の熱エネルギーを前記洗浄槽へ供給する前記純水に付与させた後、前記廃液を前記クッションタンクに送り込むと共に、前記純水を前記洗浄槽に送り込むための熱交換器と、を有し、しかも、前記クッションタンクの外壁で囲まれる内部には、第一、第二、第三、第四室が並列、又は渦巻て連接する4室の前記第一、第二室間に前記外壁の高さより低いオーバーフロー構造からなる第1の仕切り板と、前記第三、第四室間に前記第1の仕切り板の高さより高い前記オーバーフロー構造からなる第2の仕切り板と、前記第一、第二室のグループと前記第三、第四室のグループの間に前記外壁の高さと略同等の高さからなる第3の仕切り板と、該第3の仕切り板の前記第二室と前記第三室の間の下方にダウンフロー構造用の切り欠き部を有する洗浄処理装置であって、 前記洗浄槽から排出される前記廃液を前記クッションタンクの前記第一室に落とし込んだ後、該第一室の底部から取り出し前記ポンプで送り出して前記熱交換器を通過させ前記クッションタンクの前記第三室に落とし込み前記第三室と隣接する前記第二室間の前記ダウンフロー構造、前記第二室と隣接する前記第一室間の前記オーバーフロー構造、及び前記熱交換器中を循環させながら前記廃液を60°C未満とする廃液冷却手段と、 前記廃液が前記第一室から前記第三室までに満されたときに前記第三室と隣接する前記第四室間の前記オーバーフロー構造で前記第四室に前記廃液を流れ込ませて底部から耐熱温度60°Cの樹脂パイプを介して排出させる廃液排出手段を有することを特徴とする洗浄処理装置。

IPC (2件)：

B08B 3/10 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B3/10 Z ,  H01L21/304 642B ,  H01L21/304 648G ,  H01L21/304 648K

Fターム (31件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB45 ,  3B201BB02 ,  3B201BB04 ,  3B201BB82 ,  3B201BB93 ,  3B201CA03 ,  3B201CB15 ,  3B201CC01 ,  3B201CD02 ,  5F157AA02 ,  5F157AA03 ,  5F157AC01 ,  5F157BB02 ,  5F157BB04 ,  5F157BB66 ,  5F157BC12 ,  5F157BE12 ,  5F157CA02 ,  5F157CB03 ,  5F157CD33 ,  5F157CE36 ,  5F157CF36 ,  5F157CF60 ,  5F157CF62 ,  5F157CF66 ,  5F157DB02 ,  5F157DB18 ,  5F157DC31