特許

J-GLOBAL ID：201503060304865429

エッチング溶液及びエッチング方法

発明者： 盛田 茂之
出願人/特許権者： 株式会社モリタファインケミカル
代理人 (1件)： 大塚 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-158748
公開番号（公開出願番号）：特開2015-030855
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：

【課題】本発明は、エッチング溶液として環境や作業性への配慮がなされたものでありながら、経時的にも安定であり、かつ、高精細化が可能なエッチング溶液を提供する。【解決手段】銅膜または銅合金膜をエッチングするためのエッチング溶液である。メタンスルホン酸、過酸化水素、及びホスホン酸系キレート剤、特には1-ヒドロキシエチリデン-1,1-ジホスホン酸を含有し、pHが1〜5の範囲に調整されている。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

銅膜または銅合金膜をエッチングするためのエッチング溶液であって、メタンスルホン酸、過酸化水素、及びホスホン酸系キレート剤を含有し、pHが1〜5の範囲に調整されていることを特徴とするエッチング溶液。

IPC (3件)：

C23F 1/18 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

C23F1/18 ,  H01L21/306 F ,  H01L21/308 F

Fターム (13件)：

4K057WA11 ,  4K057WA18 ,  4K057WB04 ,  4K057WB15 ,  4K057WE11 ,  4K057WE25 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WG06 ,  4K057WN01 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043GG02