特許
J-GLOBAL ID：201503061492771564
表面検査方法及び表面検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤井 健一
, 藤井 紘一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-248909
公開番号（公開出願番号）：特開2015-105904
出願日： 2013年12月02日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
要約：
【課題】搬送されるシート状物の表面に生じている搬送方向に沿った凹凸欠陥部(しわ等)の形状依存性を低減し、また、平行光の広がり角度を小さくすることによって、検出感度を上げるとともに、複数方向の平行光を用いることで、固定された照射角に起因して検知できない部分を無くすことができる表面検査方法及び表面検査装置を提供する。【解決手段】搬送手段12により走行搬送されるシート状検査対象物14の表面に、光を照射する複数の光源体16と、シート状検査対象物の表面に生じる陰影を検知する検知手段18とを用い、複数の光源体により、搬送手段の走行方向に沿った方向に向いて、左右両方向側から、それぞれ擬似平行光を所定の照射角範囲内で照射させるようにし、シート状検査対象物の表面に生じた陰影を検知手段により検知させることで、シート状検査対象物の表面に生じている凹凸欠陥部20を検査する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
搬送手段により走行搬送されるシート状検査対象物の表面に生じている凹凸欠陥部を検査する表面検査方法であって、
光を照射する複数の光源体と、前記シート状検査対象物の表面に生じる陰影を検知する検知手段とを用い、前記複数の光源体により、前記搬送手段の走行方向に沿った方向に向いて、左右両方向側から、それぞれ擬似平行光を所定の照射角範囲内で照射させるようにし、当該照射させた擬似平行光で前記シート状検査対象物の表面を照明していき、当該照明により、前記シート状検査対象物の表面に生じた陰影を前記検知手段により検知させることで、前記シート状検査対象物の表面に生じている凹凸欠陥部を検査することを特徴とする表面検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G051AA32
, 2G051AA41
, 2G051AB02
, 2G051AB10
, 2G051BA02
, 2G051BA10
, 2G051BB02
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CD06
, 2G051DA06
, 2G051EA16
