特許
J-GLOBAL ID：201503061784705104
水晶振動片及び水晶デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-197884
公開番号（公開出願番号）：特開2015-065554
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
要約：
【課題】本発明は、製造費用が抑えられた水晶振動片及びその水晶振動片を使用した水晶デバイスを提供する。【解決手段】水晶振動片(110)は、第1面と該第1面の反対側の第2面とを有する水晶基板(111)と、第1面の中央領域に形成され、第1励振電極(112)と、第2面の中央領域に形成される第2励振電極(113)と、第1励振電極から第1面の周囲領域まで引き出されるとともに第2面の周囲領域まで伸びる第1引出電極(117)と、第2励振電極から第2面の周囲領域まで引き出される第2引出電極(115)と、を備える。また、第1励振電極が下地層(112a)と該下地層の上に形成される第1金属層(112b)とからなり、第2励振電極が下地層(113a)と該下地層の上に形成され第1金属層より酸化しやすい第2金属層(113b)とからなり、第2金属層の上に非金属の酸化防止膜が形成される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
厚みすべり振動を主振動とする第1面と該第1面の反対側の第2面とを有する水晶基板と、
前記第1面の中央領域に形成され、前記水晶基板を励振させる第1励振電極と、
前記第2面の中央領域に形成され、前記水晶基板を励振させる第2励振電極と、
前記第1励振電極から前記第1面の周囲領域まで引き出されるとともに前記第2面の前記周囲領域まで伸びる第1引出電極と、
前記第2励振電極から前記第2面の前記周囲領域まで引き出される第2引出電極と、を備え、
前記第1励振電極は、下地層と該下地層の上に形成される第1金属層とからなり、
前記第2励振電極は、下地層と該下地層の上に形成され前記第1金属層より酸化しやすい第2金属層とからなり、
前記第2金属層の上に非金属の酸化防止膜が形成される水晶振動片。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5J108BB02
, 5J108BB03
, 5J108CC04
, 5J108DD02
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE18
, 5J108FF03
, 5J108FF05
, 5J108FF11
, 5J108GG03
, 5J108KK02
