特許

J-GLOBAL ID：201503063068623655

基板浮上装置

発明者： 宮島 勇也
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160422
公開番号（公開出願番号）：特開2015-032656
出願日： 2013年08月01日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：

【課題】基板を安定して浮上させることができる基板浮上装置を提供する。【解決手段】基板Wを超音波振動浮上させる振動板部2と、振動板部2に超音波振動を与える超音波発生部3と、弾性を有する板状体であり、振動板部2の下面に接して振動板部2を支持する振動板支持部4と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を超音波振動浮上させる振動板部と、 前記振動板部に超音波振動を与える超音波発生部と、 弾性を有する板状体であり、前記振動板部の下面に接して前記振動板部を支持する振動板支持部と、 を有することを特徴とする、基板浮上装置。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ,  B65G 49/06 ,  B65G 27/00

FI (3件)：

H01L21/68 N ,  B65G49/06 Z ,  B65G27/00

Fターム (22件)：

3F037BA03 ,  3F037CA14 ,  3F037CB02 ,  3F037CC01 ,  3F037CC05 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA12 ,  5F131CA06 ,  5F131CA17 ,  5F131DA02 ,  5F131DB13 ,  5F131DB54 ,  5F131DB57 ,  5F131DB72 ,  5F131EA04 ,  5F131EA17 ,  5F131EB44 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82