特許
J-GLOBAL ID：201503064209838770
環境制御型荷電粒子観察システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-202952
公開番号（公開出願番号）：特開2015-069832
出願日： 2013年09月30日
公開日（公表日）： 2015年04月13日
要約：
【課題】 本発明は、試料近傍を大気圧に保持し、かつ効率よく二次電子を検出することを目的とする。【解決手段】 効率よく二次電子を検出するため、試料上部に二次電子検出可能な微小オリフィスを有し、かつ試料下部に荷電粒子が透過可能な隔膜を有し、試料近傍のみを圧力制御可能な構造を有する試料ホールダで、圧力制御の際、ガスを排気するための排気孔を試料下部の荷電粒子通路以外の位置に設け、かつ試料を加熱しながら動態変化を観察可能な構造を有する。荷電粒子による観察において、二次電子検出用微小オリフィスと荷電粒子通路が同軸上に位置しないよう荷電粒子通路用微小オリフィスを設定した装置。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
荷電粒子装置の試料室において、試料近傍を大気圧環境に制御するためのガス導入パイプとガス排出用パイプを有し、荷電粒子通路孔と試料から発せられる二次電子を検出可能な微小オリフィスを試料上部に共有し、試料上部の微小オリフィスよりも穴径を大きくすることでガス導入時の排気を積極的に行える荷電粒子通路孔を有する試料ホールダ。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, H01J 37/18
, H01J 37/09
H01J37/20 A
, H01J37/20 E
, H01J37/18
, H01J37/20 C
, H01J37/09 A
, H01J37/20 F
5C001AA01
, 5C001BB01
, 5C001BB03
, 5C001CC03
, 5C033BB01
, 5C033EE03
, 5C033EE08
