特許

J-GLOBAL ID：201503067070176777

チャンバ

発明者： 高橋 英樹
出願人/特許権者： 株式会社豊田自動織機
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  梅景 篤
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-256132
公開番号（公開出願番号）：特開2015-115179
出願日： 2013年12月11日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：

【課題】チャンバ内の減圧に要する時間を短縮する。【解決手段】チャンバ1は、本体部11と、軸13,14と、窓部12と、排気口15と、を備える。本体部11は、蓄電装置2を収容するための収容空間Sを有する。軸13,14は、本体部11を回転させる。窓部12は、軸13,14の軸回りに本体部11に設けられ、レーザ光Lを透過する。排気口15は、本体部11内のガスを排出するための部分である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蓄電装置を収容するための収容空間を有する本体部と、 前記本体部を回転させる回転軸と、 前記回転軸の軸回りに前記本体部に設けられ、レーザ光を透過する窓部と、 前記本体部内のガスを排出するための排気口と、 を備える、チャンバ。

IPC (2件)：

H01M 10/04 ,  B23K 26/12

FI (2件)：

H01M10/04 Z ,  B23K26/12

Fターム (12件)：

4E068BA04 ,  4E068BE00 ,  4E068CE04 ,  4E068CJ09 ,  4E068DA09 ,  5H028BB05 ,  5H028BB15 ,  5H028BB17 ,  5H028CC08 ,  5H028CC24 ,  5H028EE04 ,  5H028HH09