特許

J-GLOBAL ID：201503068160125981

共振子及びこの共振子を備えた電子部品

発明者： 大塚 隆宏 ,  木村 悟利
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-179401
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050526
出願日： 2013年08月30日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：

【課題】面方向に振動する振動板とこの振動板を支持する支持梁とを備えた共振子において、振動板から支持梁へのエネルギーの漏出を抑えること。【解決手段】振動板10を支持する支持梁31の長さ寸法Dについて、振動板10の発振周波数f0に基づいて、振動板10及び支持梁31を含めた構成のFEM解析を行う。そして、前記発振周波数f0を種々変えて同様の解析を複数回行って、発振周波数f0と、支持梁31の長さ寸法Dを支持梁31の幅寸法Wで除した割合rと、の相関関係を示すグラフを作成する。こうして得られた相関関係の近似式である以下の(4)式を算出して、この近似式に基づいて実際の共振子の長さ寸法Dを設定する。(4)式:r=-4.7534Ln(f0)+90.71、ただしr=D÷W。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

ベース基板と、 このベース基板に対向して板状に形成されると共に、前記ベース基板の表面に沿って振動する振動板と、 前記ベース基板上に配置された支持部と、 前記振動板を支持するために、前記支持部から当該振動板における振動の節に向かって前記ベース基板の表面に沿って伸びるポリシリコンからなる支持梁と、 前記振動板に対して入力信号を入力するための電極と、を備え、 前記振動板と前記支持部との間における前記支持梁の長さ寸法Dは、前記振動板の発振周波数をf、平面で見た時に前記支持梁の長さ方向に直交する方向の幅寸法をWとすると、 D=(-4.7534×Ln(f)+90.71)×W で表される計算結果の±10%の範囲内に設定されていることを特徴とする共振子。

IPC (4件)：

H03H 9/24 ,  H03H 9/05 ,  H03B 5/30 ,  B81B 3/00

FI (4件)：

H03H9/24 Z ,  H03H9/05 ,  H03B5/30 Z ,  B81B3/00

Fターム (26件)：

3C081AA13 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA15 ,  3C081CA32 ,  3C081DA26 ,  3C081DA45 ,  3C081EA22 ,  5J079AA01 ,  5J079FA02 ,  5J079FA16 ,  5J079FA21 ,  5J079FA26 ,  5J079GA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC02 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108DD03 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108KK03